薄膜太陽能電池設(shè)備的大致生產(chǎn)流程基本就是前兩個(gè)答案所說的。我說下我們具體的生產(chǎn)流程和設(shè)備：1 真空鍍膜(Vacuum coater): 采用濺射法（Sputter）將Mo噴射在基底上；然后是CIG先驅(qū)膜（precursor）;2  硒化反應(yīng)器 (selenization reactor): 在高溫真空環(huán)境下使Se蒸汽與precursor反應(yīng)生成CIGS吸光層；3  化學(xué)沉積(CBD), 通過CBD方法沉積CdS緩沖膜;4 透明氧化膜(TCO), 設(shè)備基本跟1中的真空鍍膜設(shè)備一樣，采用真空濺射法進(jìn)行ZnO:Al的鍍膜；以上我們稱之為前道（Front end)，至此電池結(jié)構(gòu)已經(jīng)基本完成，但做成成品還需要后道(back end)的進(jìn)一步加工, 大體流程如下：1 切割(slitter)，將電池卷切成所需要的寬度；2 導(dǎo)線印刷(grid)；3 層壓(lamination):將保護(hù)膜與電池通過層壓機(jī)貼合；4 安裝正負(fù)極導(dǎo)線的connector;之后就是根據(jù)產(chǎn)品需要來安裝外框之類的了。當(dāng)然之后還有一系列測試設(shè)備和步驟來測試電池的效率，開環(huán)電壓，壽命，等等。